高生產性

此裝置革新了運送機器的結構構成（包括裝、卸部件以及平臺速度和停止精度的提高），實現(xiàn)AF的高速化，通過可變像素實現(xiàn)測長區(qū)域的 優(yōu)化，從而縮短MAM時間，與以往相比，提高了約40%的處理能力。

高分辨率

此裝置通過改良電子光學技術及圖像處理技術（降噪，改善邊緣銳度，圖像內部暗部強調），改善了Image Sharpness。

長期穩(wěn)定性

• 再現(xiàn)性
  此裝置通過電子光學系統(tǒng)的穩(wěn)定化，以及增加計量類型，可以實現(xiàn)測長區(qū)域的可設定性的可變像素，達到較高的再現(xiàn)性。
• 匹配
  此裝置使用平臺上的專用樣品，通過開發(fā)的多種自動校準功能，實現(xiàn)了長期穩(wěn)定的匹配性能。
  特別是顯著改善了CG5000同一型號間的機型差異，實現(xiàn)了生產線管理的穩(wěn)定化。