
全部產(chǎn)品分類
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- 同步電機
- 步進電機
- 直線步進電機
- 直線伺服電機
- 設(shè)施
- 溫度計
- 隔膜壓力表
- 波登管壓力表
- GPD型儀表保護器
- 臺式油壓機
- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售、
反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
詳情介紹:
反應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

概要
EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成,此裝置可保證反應(yīng)室的壓力值始終穩(wěn)定在客戶要求的設(shè)定范圍。高分辨度的步進式馬達和獨特的蝶形閥設(shè)計確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應(yīng)。
特征
- 適合高真空環(huán)境使用:不銹鋼質(zhì)本體
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抗腐蝕
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使用PTFE(聚四氟乙烯)制作的本體也可以提供
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適合對于腐蝕性氣體的使用
當排氣端流量被調(diào)整到*佳的位置:
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抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
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阻止了噴霧的次級沉積
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阻止了危險水蒸氣的擴散
此外,與流量傳感器控制方式相比較而言,因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小
此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品(列于控制清單之上)。在從日本出口到海外或者供應(yīng)給非日本企業(yè)前,必需從日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門獲得出口許可證件。
制造: HORIBA STEC