全部產(chǎn)品分類
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- 同步電機(jī)
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- 直線步進(jìn)電機(jī)
- 直線伺服電機(jī)
- 設(shè)施
- 溫度計(jì)
- 隔膜壓力表
- 波登管壓力表
- GPD型儀表保護(hù)器
- 臺(tái)式油壓機(jī)
- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列-四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列-四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
詳情介紹：
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列
概要
對(duì)那些被靜電卡盤系統(tǒng)固定位置的硅片，GR-300系列產(chǎn)品可以控制對(duì)硅片背面進(jìn)行冷卻的氣體流量。適合使用氦氣的冷卻系統(tǒng)和使用氬氣的氣體控制硅片覆蓋。
另外可選擇配置的質(zhì)量流量傳感器也可以用來監(jiān)測(cè)氣體流量。
特征
- 更加穩(wěn)定和準(zhǔn)確的壓力控制
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質(zhì)量流量傳感器 （可選配）
-
可以配置各種類型的接頭
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符合RoHS的環(huán)保要求
制造: HORIBA STEC
