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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本原裝進(jìn)口SIMCO思美高,擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:SIMCO思美高
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
日本原裝進(jìn)口SIMCO思美高,擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635 日本原裝進(jìn)口SIMCO思美高,擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
詳情介紹:
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635  的詳細(xì)介紹

SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635

5635型Aerobar MP靜電消除器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品,用于要求精細(xì)顆粒管理小于等于100nm的場(chǎng)所的靜電消除,包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。

特點(diǎn)
  • 單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄,避免了由于超低顆粒特性和電極材料導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)
  • 通過(guò)原始MP(脈沖調(diào)制)方法有效地將離子帶入目標(biāo)的高效靜電消除
  • 即使在100毫米距離和離子平衡下也可以使用小的潛在擺動(dòng)特性,而且在棒長(zhǎng)度上幾乎沒(méi)有偏差
  • 智能控制電路自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
  • 可拆卸1/4圈可更換電極有助于減少維護(hù)工時(shí)
  • 潛在的擺動(dòng)非常小的MP方法的特點(diǎn),設(shè)置簡(jiǎn)易性也有效地作用于小保持在控制標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)離子平衡電位擺動(dòng)
  • 設(shè)置半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
  • 24 V DC驅(qū)動(dòng)控制器的緊湊設(shè)計(jì)
  • 高水平的全球支持網(wǎng)絡(luò)
 
規(guī)范
5635型AeroBar MP
輸入電壓 24 V DC +/- 10%
輸出電壓 高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
安裝距離 100毫米至1000毫米(無(wú)空氣吹掃)
離子生成方法 電暈放電方式
MP(脈沖調(diào)制)方式調(diào)制頻率1?33Hz
離子平衡 自動(dòng)平衡調(diào)整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v 
(600 mm距離)
電極 單晶硅電極可交換
吹掃氣體 清潔干燥空氣或N 2
*大吹掃壓力 310 Kpa
臭氧量 <0.05 ppm(24小時(shí)積分值)
信號(hào)輸出 報(bào)警IO開(kāi)集輸出
高度78毫米x深度34毫米x長(zhǎng)度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
外觀 ABS樹(shù)脂

擴(kuò)展ISO Class 1,10 nm?
關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米?ION Systems專門定義了清潔度的定義,以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個(gè)粒徑10nm的

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