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產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，成都強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)
產(chǎn)品型號(hào)：Regulus系列
產(chǎn)品廠商：日立HITACHI
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

日本日立HITACHI日立超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，成都強(qiáng)勢(shì)供應(yīng) 日本日立HITACHI日立超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，成都強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)

詳情介紹：

日本日立HITACHI超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 的詳細(xì)介紹

沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的佳性能
與現(xiàn)有機(jī)型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

*2

項(xiàng)目	Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率	0.8 nm （加速電壓15 kV） 1.1 nm （著陸電壓1 kV）*3	0.7 nm（加速電壓 15 kV） 0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓	0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率	20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺(tái)	樣品臺(tái)控制	3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)）	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
R	360°
T	-5～70°
Z	1.5～30 mm	1.5～40 mm
再現(xiàn)性	-	-	-	±0.5 μm以下含±0.5 μm

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產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，成都強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)

極低著陸電壓下高分辨觀察

超高分辨觀察

低加速電壓下高分辨EDX分析

產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，成都強(qiáng)勢(shì)供應(yīng)