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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本日立HITACHI日立半導體蝕刻系統(tǒng),成都強勢供應

  • 產(chǎn)品型號:9000系列
  • 產(chǎn)品廠商:日立HITACHI
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
日本日立HITACHI日立半導體蝕刻系統(tǒng),成都強勢供應 日本日立HITACHI日立半導體蝕刻系統(tǒng),成都強勢供應
詳情介紹:
日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列  的詳細介紹
  1. 新的9000系列的串接式平臺,其模組腔室設計,可以提供制程使用的彈性以及未來的擴充性。
  2. 有助于順利過渡到未來450mm晶圓用設備的平臺和用戶界面標準化整合。
  3. 9000系列平臺采用了日立成熟的微波ECR(Electron Cyclotron Resonance)等離子體蝕刻腔室,已經(jīng)過大批量生產(chǎn)的考驗。


應用晶圓直徑 300mm
裝置構成 9 chambers (max.)
部分規(guī)格會與照片不一樣。


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