全部產(chǎn)品分類
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- 步進電機
- 直線步進電機
- 直線伺服電機
- 設(shè)施
- 溫度計
- 隔膜壓力表
- 波登管壓力表
- GPD型儀表保護器
- 臺式油壓機
- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列-四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列-四川成都重慶西崎商社區(qū)域銷售
詳情介紹：
晶圓背面冷卻系統(tǒng) GR-300系列
概要
對那些被靜電卡盤系統(tǒng)固定位置的硅片，GR-300系列產(chǎn)品可以控制對硅片背面進行冷卻的氣體流量。適合使用氦氣的冷卻系統(tǒng)和使用氬氣的氣體控制硅片覆蓋。
另外可選擇配置的質(zhì)量流量傳感器也可以用來監(jiān)測氣體流量。
特征
- 更加穩(wěn)定和準確的壓力控制
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質(zhì)量流量傳感器 （可選配）
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可以配置各種類型的接頭
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符合RoHS的環(huán)保要求
制造: HORIBA STEC
