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產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號：UR421-T
產(chǎn)品廠商：其它品牌
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

特征可以將通過熱化CVD、蝕刻等在高溫區(qū)域產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。 UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機，因此非常**。瞬時停電對策：采取 1000msec以內(nèi)的瞬時停電對策。優(yōu)異的耐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。通訊功能：可讀取與泵運行狀態(tài)和警告/報警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。

詳情介紹：

模型		UR421-T	UR600	UR1200	UR1800	UR3601-TT
使用的泵	DRP	UR421-T	UR90	UR90	UR180	UR421-T
	MBP	――――	PRC-006A	PRC-012A	中國-018A	PRC-036C-T
*大排氣速度		410 米³ / 小時（6833 升 / 分鐘）	653 米³ / 小時（10883 升 / 分鐘）	1012 米³ / 小時（16867 升 / 分鐘）	1701 米³ / 小時（28350 升 / 分鐘）	2700 米³ / 小時（45000 升 / 分鐘）
達到壓力		5.0帕
*大進氣壓力（進氣壓力）		大氣壓^*1
*大排氣口壓力（排氣壓力）		1～大氣壓Pa
進氣口（CE規(guī)格）		VG100	VG80 (NW80)	VG100 (NW100)	VG150 (NW100)	VG150
排氣口		VG50	NW40			NW50
大量的		415 公斤	370 公斤	403 公斤	553 公斤	720 公斤
電力	三相	180-240 VAC / 380-440 VAC (50/60 Hz)	200 伏交流電（50/60 赫茲）/220 伏交流電（60 赫茲）			180-240 VAC / 380-440 VAC (50/60 Hz)
當前值	常規(guī)時間	23 A（200V 時）	16.4 A（200V 時）	18.9 A（200V 時）	29.2 A (200V) 20.5 A (400V)	39.8 A（200V 時） 20.5A（400V 時）
	*大值	52.5 A（200V 時）	17.3 A（200V 時）	22.4 A（200V 時）	34.9 A（200V 時） 40.5A（400V 時）	68.3 A（200V 時） 40.5A（400V 時）
臨時冷卻水壓力		0.2～0.5Mpa	0.1～0.3Mpa			0.2～0.5Mpa
冷卻水進/出口壓差		> 0.2 兆帕	> 0.1 兆帕	> 0.1 兆帕	> 0.1 兆帕	> 0.2 兆帕
冷卻水流量		> 5.0升/分鐘
吹掃氣體	初級壓力	0.1～0.5Mpa
	二次壓力	0.05 ~ 0.1 兆帕
N ₂吹掃	軸	5 SLM
	氣漲	0 ~ 195 SLM	0 ~ 45 SLM		0 ~ 195 SLM	0 ~ 195 SLM

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粵公網(wǎng)安備 51012402000291號

產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵