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產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號(hào)：HR1200
產(chǎn)品廠商：其它品牌
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

特征可以將通過熱化CVD、蝕刻等在高溫區(qū)域產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。 UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機(jī)，因此非常**。瞬時(shí)停電對(duì)策采取1000msec以內(nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。優(yōu)異的耐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時(shí)減少泵內(nèi)部的腐蝕。通訊功能可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

詳情介紹：

模型			HR60	HR90	HR300	HR600	HR1200
使用的泵		DRP	HR60	HR90	HR60	HR90	HR90
		公安部	――――	――――	PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A
*大排氣速度	50赫茲	米³ /小時(shí) （升/分鐘）	62 (1030)	112 (1860)	359 (5,980)	653 (10,900)	1,012 (16,900)
	60赫茲	米³ /小時(shí) （升/分鐘）	80 (1333)	126 (2100)	365 (6,080)	701 (11,700)	1,051 (17,500)
達(dá)到壓力		帕	五		0.67
*大進(jìn)氣壓力（進(jìn)氣壓力）			大氣壓*1
*大排氣口壓力（排氣壓力）		帕	1～大氣壓
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）			VG50 (KF50)	VG80 (KF50)	VG80 (KF80)		VG100 (KF100)
排氣口			KF40
大量的		公斤	180	245	275	370	420
電力	三相	VAC (赫茲)	200 (50/60), 220 (60)
當(dāng)前值	常規(guī)時(shí)間	一個(gè)	7.1 （200V 時(shí)）	11.2 （200V 時(shí)）	7.8 （200V 時(shí)）	12.9 （200V 時(shí)）	15.4 （200V 時(shí)）
	*大值	一個(gè)	7.3 （200V 時(shí)）	11.8 （200V 時(shí)）	8.1 （200V 時(shí)）	13.8 （200V 時(shí)）	18.9 （200V 時(shí)）
臨時(shí)冷卻水壓力		兆帕	0.1～0.3
冷卻水進(jìn)/出口壓差		兆帕	> 0.1
冷卻水流量		升/分鐘	> 5.0
吹掃氣體	初級(jí)壓力	兆帕	0.1～0.5

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粵公網(wǎng)安備 51012402000291號(hào)

產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵

產(chǎn)品名稱：日本ulavc愛發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵